|
Сплавы высокого сопротивления
Сплавами высокого сопротивления называют проводниковые материалы, у которых значения удельного сопротивления составляют не менее 0,3 мкОм×м. Их применяют при изготовлении электроизмерительных приборов, образцовых резисторов, реостатов и электронагревательных устройств. При использовании сплавов в измерительной технике от них требуется не только высокое сопротивление, но и возможно меньшее значение Манганин – основной сплав для электроизмерительных приборов и образцовых резисторов. Константан (сплав меди и никеля) используется для реостатов и электронагревательных приборов, является материалом термопар, которые служат для измерения температуры. Хромоникелевые сплавы (нихромы) используют для изготовления нагревательных элементов электрических печей, паяльников. Сплав имеет высокую жаропрочность. Тонкие пленки нихрома применяют для формирования тонкопленочных резисторов.
Резистивные материалы Резисторы являются самыми распространенными компонентами РЭА и ЭВА, в которой они выполняют функции регулирования и распределения электрической энергии между цепями и элементами схемы. Требования к резисторам, используемым во всех видах РЭА, очень разнообразны, а диапазон параметров весьма широк, поэтому для изготовления резисторов используются десятки различных материалов, каждый из которых обладает специфическими достоинствами и недостатками. Набор резистивных материалов должен быть достаточно широким с тем, чтобы можно было перекрыть весь диапазон сопротивлений, в пределах 1... 106 Ом (реже до 109 Ом и более). Очевидно, что наибольшие трудности связаны с разработкой материалов для высокоомной части этого диапазона. Материал большинства резисторов должен обладать стабильностью, то есть минимальным обратимым (температурным) и необратимым дрейфом удельного сопротивления. Его величина определяется по результатам длительных испытаний (~1000 ч) резистора при полной нагрузке и повышенной температуре — около 353 К (80 °С). Следует иметь в виду, что значения параметров, стабильность и надежность при эксплуатации резисторов, особенно микроэлектронных, зависит не только от свойств исходного материала, по и в значительной, а иногда решающей мере — от способа и режимов формирования пленок. Функциональному назначению резисторов наиболее полно соответствуют материалы в тонкопленочном состоянии, так как они имеют вследствие малой площади большие погонные (т. е. на единицу длины) сопротивления. И действительно, тонкопленочные резисторы являются самым обширным и перспективным их типом. По условиям совместимости с другими элементами, прецизионности, мощности, экономичности, стабильности применяются резисторы и других типов, а именно: толстопленочные (стеклоэмалевые), проволочные, фольговые и кремниевые диффузионные (в полупроводниковых ИС). Металлопленочные резисторы можно изготовлять на основе чистых химически стойких металлов— Та, Re, Cr (а особенно низкоомные — на основе Au, A1), сплавов металлов и интерметаллических соединений. Пленки тантала достаточно стабильны, а сопротивление резистора легко подгонять под номинал (в сторону увеличения) путем анодного окисления. Тантал дефицитен, а процессы получения танталовых резисторов плохо совмещаются с другими операциями при изготовлении ГИС и микросборок. Поэтому они используются главным образом в схемах, целиком изготовленных по танталовой технологии, где чистый Та используются как проводник, Ренийвыделяется высокой тугоплавкостью — это второй после вольфрама металл по значению температуры плавления (3470 К), прецизионные резисторы на основе рения получаются проще, причем не требуется никаких дополнительных обработок. Естественно, что ни Та, ни Re не удовлетворяют требованиям массового производства резисторов ввиду их высокой стоимости, дефицитности, сложной технологии напыления. Значительно большее распространение в качестве резистивных материалов получили сплавы металлов. По сравнению с чистыми металлами они имеют, как было установлено выше большее удельное сопротивление и меньший по абсолютному значению ТКЛР. Это сочетание обеспечивает их очевидные преимущества как резистивных материалов. Среди них первым в пленочном виде был получен нихром (80% Ni, 20% Cr). Нихром используют для получения только низкоомных резисторов R<20...50 кОм. Повышенным удельным сопротивлением обладают сплавы, в которых образуются интерметаллические соединения, а среди них лучшие свойства имеют силициды. Известны силициды 60 металлов, но особенно высокое удельное сопротивление характерно для Поэтому именно хром и железо наряду с кремнием являются основными компонентами резистивных силицидных сплавов. В технологии ГИС и микросборок часто приходится наносить на одну подложку группы резисторов, различающихся по номиналам сопротивлений. Задача расширения диапазона не решается только за счет геометрических размеров и приходится вводить новые материалы. При этом очень желательно, чтобы их физико-химическая природа была одной и той же. Силицидные сплавы предоставляют такую возможность: сейчас разработано около 15 их типов. Кермет представляет собой оксидную матрицу, в которую погружены тонкодисперсные частицы хрома, причем элементный состав его тот же, что и силицидных сплавов (Cr, Si, О), но содержание кислорода в них выше. Кермет К-50С является оптимальным по большинству свойств и нашел широкое применение. Близость состава, свойств и методов получения силицидных сплавов и керметов позволяет рассматривать их как единую оксихромсилицидную группу резистивных материалов. Для низкоомного диапазона сопротивлении предпочтительны малоокисленные пленки — силициды хрома со стабилизирующими добавками, для высокоомного — кермет — композиция из хромсилицидного сплава и стекла.
![]() ![]() Что делать, если нет взаимности? А теперь спустимся с небес на землю. Приземлились? Продолжаем разговор... ![]() Что будет с Землей, если ось ее сместится на 6666 км? Что будет с Землей? - задался я вопросом... ![]() Система охраняемых территорий в США Изучение особо охраняемых природных территорий(ООПТ) США представляет особый интерес по многим причинам... ![]() Живите по правилу: МАЛО ЛИ ЧТО НА СВЕТЕ СУЩЕСТВУЕТ? Я неслучайно подчеркиваю, что место в голове ограничено, а информации вокруг много, и что ваше право... Не нашли то, что искали? Воспользуйтесь поиском гугл на сайте:
|